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ITO靶材的制备工艺 

宣布时间:2017/11/16
ITO靶材的制备工艺

  本项目接纳清华大学化工凯发K8娱乐全球果真国家重点实验室最新研发的注浆-气氛烧结法先进生产工艺制备纳米氧化铟锡高性能靶材,同时项目在纳米氧化铟锡前驱体制备阶段缔造性地接纳了微反映器技术。主要工艺如下: